特許
J-GLOBAL ID：200903082668820443
リードフレームの外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-305529
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132754
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 リードフレームのめっき外観不良を検査する外観検査装置であって、欠陥検出感度が優れた検査装置を提供する。【解決手段】 試料をほぼ一定の速度で一方向へ移動する試料の搬送手段と、試料の搬送方向と直交する所定位置における試料表面の線状領域を撮影する線状領域撮影手段と、照明の正反射光が線状領域撮影手段に直接入射しないような角度で試料表面の前記線状領域を斜めから照明する線状照明手段と、線状領域撮影手段により試料の線状領域を撮影して得られた撮影画像信号データを用いて、試料の欠陥部を抽出する画像処理手段とを備えたもので、画像処理手段は、線状領域撮影手段により得られた撮影画像信号データに基づいた、線状領域撮影手段の各画素に対応した試料の各位置毎の画像信号を設定した所定のスライスレベルと比較する比較処理を施して、該各位置の画像信号のレベルが所定範囲外の信号の箇所を検出し、検出された箇所であらかじめ設定した領域内のもののみを欠陥部と判断する。
請求項（抜粋）：
ほぼ一定の速度で一方向へ移動する試料の線状領域を撮影することにより得られた画像データを用いて、リードフレームのめっき不良を検出する外観検査装置であって、試料をほぼ一定の速度で一方向へ移動する試料の搬送手段と、試料の搬送方向と直交する所定位置における試料表面の線状領域を撮影する線状領域撮影手段と、照明の正反射光が線状領域撮影手段に直接入射しないような角度で試料表面の前記線状領域を斜めから照明する線状照明手段と、線状領域撮影手段により試料の線状領域を撮影して得られた撮影画像信号データを用いて、試料の欠陥部を抽出する画像処理手段とを備えたもので、画像処理手段は、線状領域撮影手段により得られた撮影画像信号データに基づいた、線状領域撮影手段の各画素に対応した試料の各位置毎の画像信号を設定した所定のスライスレベルと比較する比較処理を施して、該各位置の画像信号のレベルが所定範囲外の信号の箇所を検出し、検出された箇所であらかじめ設定した領域内のもののみを欠陥部と判断するものであることを特徴とするリードフレームの外観検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, H01L 23/50
, H01L 23/48
G01N 21/88 E
, H01L 23/50 D
, H01L 23/48 P
