特許
J-GLOBAL ID：200903082674345838
レ-ザ-イオン化中性粒子質量分析法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-287114
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132789
出願日： 1996年10月29日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】被分析物の中性粒子にパルスレ-ザを照射し、発生した光励起イオンの質量スペクトルを測定するレ-ザイオン化中性粒子質量分析法において、標準試料の分析をすることなく、被分析物中の成分元素を正確に定量すること。【解決手段】イオンビ-ム発生装置1からの一次イオンビ-ム2を固体試料に当て、放出される中性粒子6に、パルスレ-ザ発生器7からのパルスレ-ザ8を照射し、光励起イオン11を質量分析器13によって質量分離し、パルス計数器15で計数しつつ、光強度を変化させ、光励起イオン11の強度の光強度に対する依存特性から、前記中性粒子のイオン化断面積を決定し、その値から、元素の濃度の総和が1となることを用いて、補正係数を求め、該補正係数と上記光励起イオンの強度とから、上記被分析物の濃度を精度よく定量する。
請求項（抜粋）：
真空中で固体試料表面の被分析領域にイオンビ-ム或いはレ-ザビ-ム或いは中性粒子ビ-ムを照射して該被分析領域の被分析物の中性粒子を放出させる手段と、該中性粒子をイオン化して光励起イオンを発生させるパルスレ-ザと、該光励起イオンを質量分離する質量分析器と、該質量分析器により質量分離されたイオンを検出するイオン検出器と、前記パルスレ-ザの光強度を変化させる手段とからなるレ-ザイオン化中性粒子質量分析法であって、前記パルスレ-ザの光強度を変化させ、前記光励起イオンの強度の前記光強度に対する依存性を測定し、前記光強度がある特定強度以上の場合に前記光励起イオンの強度が前記光強度の対数の一次関数となる領域を見いだし、該一次関数の値が零となる光強度の値から前記中性粒子のイオン化断面積を決定することを特徴とするレ-ザイオン化中性粒子質量分析法。
IPC (3件)：
G01N 27/64
, G01N 23/225
, H01J 49/10
G01N 27/64 B
, G01N 23/225
, H01J 49/10
