特許
J-GLOBAL ID：200903082676994426
回転処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277811
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347292
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 被処理体を強固に保持すると共に清浄気体の流れの乱れを抑制する。【構成】 処理液の付着した被処理体Wを保持回転する被処理体保持機構52を筐体50内に収容した回転処理装置において、被処理体保持機構52として、被処理体Wの上部及び下部を保持するために上部支持部材84と下部支持部材82とを形成する。そして、上記保持機構52に連結される回転軸92を中空にしてこの中に開閉用中心軸110を回転可能に設け、この中心軸110の駆動力を開閉アーム86を介して上部支持部材84に伝え、これを開閉可能とする。
請求項（抜粋）：
被処理体が保持された被処理体保持機構を筺体内で回転させつつ前記被処理体を処理する回転処理装置において、前記被処理体保持機構は、前記被処理体の下部を支持する下部支持部材と、前記被処理体の上部を支持する上部支持部材と、前記上部支持部材を開閉する開閉アームとを有し、前記被処理体保持機構は、これを回転可能とする中空の回転軸に連結されると共に前記開閉アームはこれを駆動すべく前記中空の回転軸に挿通された開閉用中心軸に連結されることを特徴とする回転処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361
, H01L 21/304
