特許
J-GLOBAL ID：200903082684322305
反射面測定用光学装置ならびに絶対反射率測定方法および絶対面精度測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-060955
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253527
出願日： 1997年03月14日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 測定光路における被検面での反射を1回とし、かつ、基準光路と、測定光路とにおける光路変動を抑制する。【解決手段】 主軸101上の共通の点を挟んで、入射部110および出射部120を配設し、上記主軸101に関して互いに対称となる関係にある2つの姿勢を排他的に選択可能に、上記出射部120の光学系M3,M4を支持して、N-M形の光路を構成する。
請求項（抜粋）：
4枚のミラーを有し、上記4枚のミラーで反射されて構成される光路がN形となる第1の状態と、上記4枚のミラーおよび被検面からなる5つの反射面で反射されて構成される光路が、M形およびW形のいずれかとなる第2の状態とを排他的に選択可能であることを特徴とする反射面測定用光学装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/27
, G01N 21/27 B
, G01N 21/55
