特許

J-GLOBAL ID：200903082693797448

自動硬度計の自動焦点合わせ方法及び装置

発明者： 増田 正純 ,  星川 耕司 ,  古主 泰子
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-049959
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243539
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 金属組織の混在した試験片や圧痕周辺が汚染した場合にも、自動焦点合わせを可能とする。【解決手段】 圧痕像境界部の灰色レベル変化率Bが最大となる試験片表面と対物レンズ間距離と、灰色レベルの最大値Dが最小となる前記距離の両者を元にして焦点位置を求め、該位置に焦点を合わせるように駆動する。

請求項（抜粋）：

所定荷重の圧子押圧により生じた試料試験面の圧痕を、対物レンズで拡大してイメージセンサの受光面に結像せしめ、該イメージセンサからの試料試験面画像データをアナログ/デジタル変換処理して、前記圧痕寸法を計測することにより、当該試料試験面の硬度を測定する自動硬度計の自動焦点合わせ方法において、前記試料を載置した試料ステージ、もしくは前記対物レンズとイメージセンサを収容する鏡筒を駆動し、前記試料試験面と対物レンズとの間の距離をステップ状に変化させて、前記デジタル画像の圧痕境界部分の輝度の変化度合が最大となるような試料ステージもしくは鏡筒の第1の位置を求める第1の段階と、前記輝度の最大値が最小となる試料ステージもしくは鏡筒の第2の位置を求める第2の段階と、前記第1の位置と第2の位置との差を求め、該位置差を予め設定した閾値と比較する第3の段階と、前記位置差が前記閾値以下の場合は、前記第1の位置を焦点位置であるとして前記試料ステージもしくは鏡筒を位置せしめる段階と、前記位置差が前記閾値を超えた場合は、前記第1〜第3の段階を繰り返し、予め定めた繰り返し回数N以内に、前記位置差が前記閾値以下になった場合に、前記第1の位置を焦点位置であるとして前記試料ステージもしくは鏡筒を位置せしめる段階と、前記位置差が前記閾値を超えた場合で、前記第1〜第3の段階を繰り返しても、予め定めた繰り返し回数N以内に、前記位置差が前記閾値以下にならなかった場合に、繰り返し回数N回目に求めた前記第1の位置と第2の位置との平均位置が焦点位置であるとして前記試料ステージもしくは鏡筒を位置せしめる段階と、を含むことを特徴とする自動硬度計の自動焦点合わせ方法。