特許

J-GLOBAL ID：200903082696510808

アルカリハライドイオンエキシマレーザの励起方法

発明者： 伊藤 紳二
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 本庄 伸介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-200518
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021546
出願日： 1992年07月02日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】 小型低コストで高繰り返し動作が可能なアルカリハライドイオンエキシマレーザの励起方法を提供する。【構成】 少なくともハロゲン分子を含むレーザガス1を封入したレーザ管2内にRb等のアルカリ金属3を配置し、レーザ生成プラズマ発生用レーザ装置4から出射するプラズマ発生用レーザ光5を集光レンズ6によってアルカリ金属3上に集光する図の様な構成を採っている。本構成によれば、アルカリ金属3上の集光点近傍に、アルカリ金属原子やレーザガス1の1価及び2価の正イオンや励起状態の原子を多数含むレーザ生成プラズマ7が発生する。また、レーザ生成プラズマ7中の低速電子はハロゲン分子と解離性付着衝突を起こし、負ハロゲンイオンが生成される。

請求項（抜粋）：

ハロゲン分子を含むレーザガスが封入されるレーザ管内に配置したアルカリ金属に集光レンズによって集光したレーザ光を照射することを特徴とするアルカリハライドイオンエキシマレーザの励起方法。

IPC (2件)：

H01S 3/0977 ,  H01S 3/0943

FI (2件)：

H01S 3/097 E ,  H01S 3/094 G