特許
J-GLOBAL ID：200903082701941626
同調用の犠牲層を使用するピエゾ電気共振器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-508148
公開番号（公開出願番号）：特表2001-514456
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2001年09月11日
要約：
【要約】犠牲質量負荷層(16)を有するピエゾ電気共振器(10)である。共振器周波数を所望のターゲットまで上昇するために材料は質量負荷層(16)から除去される。犠牲層(16)は銀または金のような密度の高い材料であるが、不適切な疑似周波数問題を増加せずに、共振器(10)の高周波数アルミニウム電極(14)で使用されることができる比較的薄い層である。質量負荷層(16)は導電性である必要はない。さらに、銀または金の犠牲層(16)はアルミニウムまたはアルミニウム酸化物とは異なって、実際的で経済的なレートでイオン研磨により除去されることができる。好ましくは、拡散バリア(18)は電極(14)と質量負荷層(16)との間に挿入される。
請求項（抜粋）：
同調されたピエゾ電気共振器を形成する方法において、ピエゾ電気プレートに実質上対向する電極を設け、 犠牲質量負荷層を電極の一部に配置し、ここではピエゾ電気共振器の周波数が最終的な所望の周波数よりも小さく、 最終的な所望の周波数が得られるように犠牲質量負荷層の一部を選択的に除去するステップを有する同調されたピエゾ電気共振器を形成する方法。
IPC (4件)：
H03H 3/04
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H03H 9/19
H03H 3/04 B
, H03H 9/19 A
, H01L 41/08 U
, H01L 41/22 Z
5J108AA02
, 5J108BB02
, 5J108EE03
, 5J108FF03
, 5J108FF05
, 5J108KK05
, 5J108NB04
