特許

J-GLOBAL ID：200903082702153648

三次元形状測定装置

発明者： 保坂 光太郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-166072
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344330
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】 2面以上の複数の面から構成される光学素子等の各面の三次元形状を簡単にかつ高精度に測定することができる三次元形状測定装置を提供する。【解決手段】 測定治具2に搭載された測定ワーク15の測定面をプローブ1で走査することによって測定ワーク15の三次元形状を測定する三次元形状測定装置において、測定治具2が回転軸7aを介して取り付けられた割り出し装置7の割り出し駆動により、測定治具2と測定治具2に搭載された測定ワーク15は回転し、測定ワーク15の各測定面をプローブ1に対向するように適切に割り出して位置決めすることができる。また、測定治具2に少なくとも3個以上の基準球11a、11b...を配置し、これらの基準球の形状をプローブ1により測定することによって求められる各基準球の中心点を通る仮想平面を基準平面として、該基準平面から測定ワーク15の各測定面の相対位置を測定できる。

請求項（抜粋）：

測定対象物の三次元形状を接触または非接触プローブで走査することによって測定対象物の形状を測定する三次元形状測定装置において、該測定対象物の割り出しを行なう手段を有することを特徴とする三次元形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 21/22

FI (2件)：

G01B 21/20 101 Z ,  G01B 21/22