特許
J-GLOBAL ID：200903082704240823
光干渉式流体特性測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西川 慶治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-045002
公開番号（公開出願番号）：特開2003-240714
出願日： 2002年02月21日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：
【要約】【課題】 圧力センサーを用いることなくサンプリングポンプの機能や流路の漏れを検査すること。【解決手段】 被検ガスが流入する測定チャンバ1と、標準ガスが封入されたリファレンスチャンバ2、3とを併設し、前記測定チャンバとリファレンスチャンバとを通過した光の干渉縞の変位に基づいて流体特性を測定する光干渉式流体特性測定装置において、測定チャンバ1の被検ガスの流路を封止する電磁弁5と、流路が封止されている期間での干渉縞の移動量を検出する圧力検査手段21とを備える。
請求項（抜粋）：
被検ガスが流入する測定チャンバと、標準ガスが封入されたリファレンスチャンバとを併設し、前記測定チャンバとリファレンスチャンバとを通過した光の干渉縞の変位に基づいて流体特性を測定する光干渉式流体特性測定装置において、前記測定チャンバの被検ガスの流路を封止する手段と、前記流路が封止されている期間での前記干渉縞の移動量を検出する手段とを備えた光干渉式流体特性測定装置。
Fターム (15件)：
2G059AA01
, 2G059AA03
, 2G059BB01
, 2G059DD12
, 2G059EE04
, 2G059EE09
, 2G059FF09
, 2G059GG02
, 2G059HH02
, 2G059HH06
, 2G059JJ11
, 2G059JJ12
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
