特許

J-GLOBAL ID：200903082705388638

透過型電子顕微鏡

発明者： 成瀬 幹夫
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106420
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299081
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】透過型電子顕微鏡によって、暗視野像の解釈が容易で、試料で生じている動的現象を捉えることができ、且つ微小領域の暗視野像の観察を可能とする。【解決手段】CL1の絞り位置にはアンニュラーアパーチャ7が配置されている。これにより、アンニュラーアパーチャ7を通過した電子ビームは空洞円錐状となる。この空洞円錐状の電子ビームはCL1により一旦収束した後に広がりをもち、CM2によって収束される。このCM2は、励磁電流を調整することによって空洞円錐状の電子ビームが試料3に入射するときの入射角αを所望の角度に設定することができるようになされている。CM2を通過した空洞円錐状の電子ビームは、OL4の前方磁場5によって収束されて試料3に照射される。従って、試料3に適した入射角αの暗視野像が全方位の情報を含んで得られる。また、空洞円錐状の電子ビームを収束させた状態で試料に照射させるので、試料上での照射面積を小さくでき、微小領域の暗視野像を高分解能で得ることができる。

請求項（抜粋）：

コンデンサレンズと、前記コンデンサレンズの絞り位置に配置されたアンニュラーアパーチャと、前記コンデンサレンズと試料との間に配置され、試料に照射する電子ビームの照射角を変更可能となされたレンズとを備えることを特徴とする透過型電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/09

FI (2件)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/09 A

Fターム (3件)：

5C033BB01 ,  5C033SS01 ,  5C033SS06