特許
J-GLOBAL ID:200903082709903227
導波管への光ファイバの結合
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 正武 (外7名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-547504
公開番号(公開出願番号):特表2002-513950
出願日: 1999年04月30日
公開日(公表日): 2002年05月14日
要約:
【要約】光ファイバ1を光チップ上の導波管3に結合するための装置を提供している。この装置はチップに光ファイバを受け入れるための凹所を備えている。この凹所は、導波管と整列状態にファイバを位置決めするように両側面がファイバの光学軸に対して垂直な方向にファイバの位置を定めるV溝2と、導波管の端部と隣接する端面4Aとを備えている。凹所の端面4Aは、実質的に平坦であり、かつチップ面に対して実質的に垂直であり、かつ垂線が導波管の光学軸に対して傾斜されている。そのため、傾斜端面2Aを有する光ファイバが導波管の端部と近接関係となり、かつファイバを位置決めすることにより光学軸を中心として回転整列状態にすることができ、そのため、傾斜端面が凹所の端面と平面接触状態に配置される。
請求項(抜粋):
光ファイバを受け入れるためにチップに凹所を形成し、前記凹所の第1部分が前記ファイバを導波管と整列状態に位置決めするように前記ファイバの光学軸に対して垂直な2つの直交方向に前記ファイバの位置を定めるための位置決め手段を備え、かつ前記凹所の第1部分が乾式エッチング処理により形成され、前記凹所の第2部分が前記導波管の端部に隣接する端面を有し、かつ前記凹所の第2部分が乾式エッチング処理により形成され、前記凹所の前記端面が、実質的に平坦に形成され、かつ前記チップの面に対して実質的に垂直に形成され、かつ前記導波管の前記光学軸に対して傾斜した垂線を有しており、そのため、傾斜端面を有する前記光ファイバが導波管の端部と近接関係となり、かつ前記ファイバを位置決めすることにより前記光ファイバがその光学軸周りに整列状態になり、そのため、前記傾斜端面が前記凹所の前記端面と平面接触状態に配置されることを特徴とする光ファイバを光チップ上の導波管に結合する方法。
Fターム (4件):
2H037BA24
, 2H037DA04
, 2H037DA06
, 2H037DA12
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