特許

J-GLOBAL ID：200903082713693652

外力計測装置およびその製造方法

発明者： 田村 昌弥
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-175794
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002811
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 外部から加わる加速度または角速度により、円錐状可動部を全体的または部分的に変位させ、この変位を検出して加速度または角速度の大きさを計測する。【解決手段】 外力計測装置としての角速度計測装置1は、中央部に支持柱3を介して円錐状可動部4が支持され、その開口部4Aが凹陥穴となっている。また、シリコン基板2上には一の電極板5と他の電極板6が交互に放射状に形成されている。円錐状可動部4の開口部4Aを楕円となるように振動させた状態で、垂直軸の周りに角速度が加わるとコリオリ力により振動の節となる部分が楕円振動を行う。これを円錐状可動部4と電極板6との間の静電力で検出する。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に該基板から離間する方向に立設された支持柱と、該支持柱の先端に設けられ、開口部が凹陥穴となった円錐状体に形成された円錐状可動部と、外力が加わることによる該円錐状可動部の変位を検出する外力検出手段とから構成してなる外力計測装置。

IPC (5件)：

G01L 1/18 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/08 ,  H01L 29/84

FI (5件)：

G01L 1/18 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/08 Z ,  H01L 29/84 Z