特許
J-GLOBAL ID：200903082716948589
プローブ構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高島 一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-134253
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327659
出願日： 1995年05月31日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 バンプ接点を有する検査対象物に対する接触試験、特にバーンインテストにおいて、バンプ接点の高さにばらつきがあっても、容易に電気的接続を行えるようにし、圧接によるバンプ接点の変形を抑制し、接触する必要のないバンプ接点に対する接触圧力を減じ得る構造とし、全体にかかる圧力を減少させたプローブ構造を提供すること。【構成】 可撓性を有する絶縁性フィルム1の一方の面側に設けられた接触部3と、該絶縁性フィルムのいずれかの面に設けられた回路パターンとを導通させてなる面状のプローブ構造である。接触部は、接触対象であるバンプ接点のうち接触する必要のあるバンプ接点B1だけに対応する位置に設けられ、検査する必要のないバンプ接点B2に対応する位置には、検査時にそのバンプ接点を変形させないような開口部6が絶縁性フィルムに設けられる。接触部には、バンプ接点がはまり込んで環状に接触するように、開口部4が設けられる。
請求項（抜粋）：
可撓性を有する絶縁性フィルムの一方の面側に設けられた接触部と、該絶縁性フィルムのいずれかの面に設けられた回路パターンとを導通させてなる面状のプローブ構造であって、接触部は、検査対象物上の接触対象であるバンプ接点のうち接触する必要のあるバンプ接点だけに対応する位置に設けられるものであり、検査する必要のないバンプ接点に対応する位置には、検査時にそのバンプ接点を変形させないような凹部または貫通孔による開口部が絶縁性フィルムに設けられたものであることを特徴とするプローブ構造。
IPC (4件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
, H01R 9/09
G01R 1/073 E
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
, H01R 9/09 Z
