耐食性部材

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-250110
公開番号（公開出願番号）：特開2002-080270
出願日： 2000年08月21日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
要約：

【要約】【課題】セラミック基材の表面に接合する耐食材が剥離し易く耐食性が低い。【解決手段】酸化アルミニウム質焼結体から成るセラミック基材2表面に、周期律表第2a族あるいは第3a族元素の少なくとも1種を主成分とする焼結体から成る耐食材3を接合させた耐食性部材1であって、前記セラミック基材2と耐食材3との間に前記セラミック基材2成分と耐食材3成分とを含有する焼結体から成る中間層4を配する。

請求項（抜粋）：

酸化アルミニウム質焼結体から成るセラミック基材表面に、周期律表第2a族あるいは第3a族元素の少なくとも1種を主成分とする焼結体から成る耐食材を接合させた耐食性部材であって、前記セラミック基材と耐食材との間に前記セラミック基材成分と耐食材成分とを含有する焼結体から成る中間層を配したことを特徴とする耐食性部材。

IPC (7件)：

C04B 35/00 , C04B 35/10 , C04B 37/00 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H05H 1/46 , C23C 16/44

FI (7件)：

C04B 37/00 A , H01L 21/205 , H05H 1/46 A , C23C 16/44 B , C04B 35/00 H , C04B 35/10 Z , H01L 21/302 B

Fターム (25件)：

4G026BA02 , 4G026BA03 , 4G026BA06 , 4G026BB02 , 4G026BB03 , 4G026BF04 , 4G026BG05 , 4G026BG30 , 4G026BH06 , 4G030AA07 , 4G030AA12 , 4G030AA36 , 4G030BA33 , 4G030GA35 , 4K030AA02 , 4K030FA01 , 4K030KA46 , 4K030LA15 , 5F004AA16 , 5F004BA20 , 5F004BB20 , 5F004DA04 , 5F045BB17 , 5F045EC05 , 5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-177380
積層体、耐蝕性部材および耐ハロゲンガスプラズマ用部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-376151 出願人：日本碍子株式会社
傾斜機能材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-128968 出願人：株式会社東芝

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