微粒子検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-033235
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242015
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】極微小な粒子の検出を短時間で行うことが可能な微粒子検出装置を提供することにある。【構成】複数のレ-ザ光20...を被検査物体9の表面10に照射するとともに表面10に付着した微粒子26からの散乱光Ls を受光して検出する散乱光検出光学系4と、被検査物体9と散乱光検出光学系4とを相対変位させてレ-ザ光20...を表面10に走査する走査機構部2と、散乱光検出光学系4の検出デ-タを処理するデ-タ処理部3とを具備した。

請求項（抜粋）：

複数の検出光を被検査物体の検査面に照射するとともに上記検査面に付着した微粒子からの散乱光を受光して検出する散乱光検出光学系と、上記被検査物体と上記散乱光検出光学系とを相対変位させて上記検出光を上記検査面に走査する走査機構部と、上記散乱光検出光学系の検出デ-タを処理するデ-タ処理部とを具備した微粒子検出装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 , G01N 15/00 , G01N 15/10 , G01N 21/47

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