特許
J-GLOBAL ID：200903082722355700
ウェーハ支持板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-082505
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260746
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 ウェ-ハを所定位置に正確に安定した状態で載置でき、且つ熱処理後のウェ-ハの取出し性を良くし、熱処理作業の作業性を向上させ、さらに、ウェ-ハに生じるスリップの発生を防ぎ、ウェ-ハの品質を向上させるウェ-ハ支持板を提供することを目的としている。【解決手段】 ウェ-ハ8を載置保持するウェ-ハ挿入溝7を有するウェ-ハ支持ボ-ト2のウェ-ハ挿入溝7に装着されるウェ-ハ支持板1において、このウェ-ハ支持板1の上面5であってウェ-ハ8が接触する支持面9に、ウェ-ハ8が接触しない非支持部となる貫通孔6を形成し、ウェ-ハ裏面をウェ-ハ支持板上面に滑ることなく十分に接触でき、また貫通孔6から取り込む空気でウェ-ハをウェ-ハ支持板から容易に取り出すことができる。
請求項（抜粋）：
ウェ-ハを載置保持するウェ-ハ挿入溝を有するウェ-ハ支持ボ-トのウェ-ハ挿入溝に装着され、ウェーハの裏面を面接触で支持する平坦な上面を有し、且つ平面形状が略リング状のウェ-ハ支持板において、当該ウェ-ハ支持板の上面であってウェーハが接触する支持面にウェーハが接触しない非支持部を形成し、ウェ-ハを前記支持面に支持した状態で前記非支持部を外部へ連通させることを特徴とするウェ-ハ支持板。
IPC (3件)：
H01L 21/22 511
, H01L 21/205
, H01L 21/68
H01L 21/22 511 G
, H01L 21/205
, H01L 21/68 N
