特許
J-GLOBAL ID：200903082727813537
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-332745
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181160
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 照明光学系のσ値等を変更した場合でも、感光基板に対する露光エネルギーを適正露光量に制御する。【構成】 フライアイレンズ3の射出面に可変絞り5を配置し、可変絞り5を通過してビームスプリッター6で反射された露光光をインテグレータセンサ8に導き、ビームスプリッター6を透過した露光光で主コンデンサーレンズ12を介してレチクル13を照明し、レチクル13のパターン像をウエハ15上に露光する。可変絞り5の開口の形状及び大きさの関数として、予めインテグレータセンサ8の出力からウエハ15への露光エネルギーへの変換係数を求めておき、インテグレータセンサ8の出力信号からウエハ15への正確な積算露光量を求める。
請求項（抜粋）：
転写用のパターンが形成されたマスクを露光光で照明する照明光学系を有し、前記転写用のパターンを感光基板上に露光すると共に、前記感光基板上への前記露光光の積算露光量が適正露光量になるように制御を行う露光装置において、前記照明光学系のフーリエ変換面における前記露光光の分布状態を入力する入力手段と、該入力された前記露光光の分布状態を前記照明光学系で設定する照明状態可変手段と、前記照明光学系のフーリエ変換面と共役な面の近傍で前記照明光学系で生成される前記露光光の一部を受光する光電変換手段と、該光電変換手段の出力信号から前記感光基板上での露光量を求める際の変換係数を、前記照明光学系のフーリエ変換面における前記露光光の分布状態に対する関数として予め記憶し、前記光電変換手段の出力信号、前記入力手段から入力された前記露光光の分布状態及び前記予め記憶された変換係数より、前記感光基板に対する前記露光光の積算露光量を算出する露光量演算手段と、該露光量演算手段で算出された積算露光量が前記適正露光量に達したときに、前記感光基板への露光を停止する露光量制御手段とを有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 311 L
, H01L 21/30 301 G
