特許

J-GLOBAL ID：200903082734265731

感光性樹脂組成物

発明者： 古川 信之 ,  吉田 毅 ,  山田 保治
出願人/特許権者： 新日鐵化学株式会社
代理人 (1件)： 佐野 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-357724
公開番号（公開出願番号）：特開平5-181273
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】 電気的特性、機械的特性、保存安定性に優れた高感度のポリイミド系感光性樹脂組成物を提供することにある。【構成】 下記一般式(1)【化1】で表される繰り返し単位70〜99モル%と、下記一般式(2)【化2】で表される繰り返し単位30〜1モル%からなる重合体100重量部と、光重合開始剤0.1〜50重量部からなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)、【化1】で表される繰り返し単位70〜99モル%と、下記一般式(2)【化2】で表される繰り返し単位30〜1モル%からなる重合体100重量部と、光重合開始剤0.1〜50重量部からなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/027 514 ,  C08L 79/08 LRC ,  G03F 7/012 501 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312