特許

J-GLOBAL ID：200903082743763736

耐久性のあるスパッターされた金属酸化物コーティング

発明者： ジェームズ ジョセフ フィンリー ,  メーラン アルバブ
出願人/特許権者： ピーピージー インダストリーズ, インコーポレーテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277965
公開番号（公開出願番号）：特開平7-197250
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】 耐久性のある金属酸化物フィルムのコーティング方法の提供。【構成】 陰極スパッターによる硬質金属フィルムの製造方法において、a.不活性ガス及び反応性ガスからなる雰囲気からなる真空チャンバーに基体を置く工程、b.金属陰極ターゲットをスパッターする工程とからなり、更に、反応性ガス濃度が、金属が金属モードでスパッターされて、金属フィルムを蒸着するのに充分に低いことを特徴とする前記硬質金属フィルムの製造方法。

請求項（抜粋）：

陰極スパッターによる硬質金属フィルムの製造方法において、a.不活性ガス及び反応性ガスからなる雰囲気からなる真空チャンバーに基体を置く工程、b.金属陰極ターゲットをスパッターする工程とからなり、更に、反応性ガス濃度が、金属が金属モードでスパッターされて、金属フィルムを蒸着するのに充分に低いことを特徴とする前記硬質金属フィルムの製造方法。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/14