特許
J-GLOBAL ID：200903082749903386
薄板の搬送方法および液晶パネルの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-052754
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252342
出願日： 1999年03月01日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 支持板に薄ガラス基板やプラスチックフィルム基板などの薄板を仮固定して搬送した後に支持板から薄板を剥がすときに、薄ガラス基板が割れるのを防止でき、またはプラスチックフィルム基板上に形成された電極や各種形成膜に断線や亀裂等が生じて破損することを防止でき、且つ製造工程を汚染することのない薄板の搬送方法を提供する。【解決手段】 加熱処理によって剥離可能な熱剥離シート20によって基板10を支持板30に仮固定し、熱剥離粘着シート20の周縁部をシール材40によって封止し、基板10を仮固定した支持板30を搬送する。仮固定した基板10は、加熱処理によって容易に支持板30から剥がすことができる。
請求項（抜粋）：
粘着材によって薄板を支持板に仮固定し、前記粘着材の周縁部をシール材によって封止し、薄板を仮固定した支持板を搬送することを特徴とする、薄板の搬送方法。
Fターム (3件)：
5F031CA05
, 5F031DA19
, 5F031MA37
