特許
J-GLOBAL ID：200903082753141032
基板の表面処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-190060
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031789
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 基板に薬液を接触させて基板の洗浄処理を行なう場合に、薬液の消費量を抑え、かつ、高い処理品質を得ることができる装置を提供する。【構成】 処理槽12内で基板Wの洗浄処理に使用された使用済み薬液16を回収する第1、第2の回収用タンク60、68を設ける。第2の回収用タンクから処理槽へ2回使用の回収薬液70を供給するとともに使用済み薬液を排出し、次いで第1の回収用タンクから処理槽へ1回使用の回収薬液62を供給するとともに第2の回収用タンク内へ使用済み薬液を回収し、最後に処理槽へ新鮮な薬液を供給するとともに第1の回収用タンク内へ使用済み薬液を回収するように制御する。
請求項（抜粋）：
基板を収容しその基板に薬液を接触させることにより基板を表面処理する処理槽と、この処理槽へ新鮮な薬液を供給する新液供給手段と、前記処理槽内で基板の表面処理に使用されて処理槽から流出する使用済み薬液を排出する薬液排出手段とを備えた基板の表面処理装置において、前記処理槽内で基板の表面処理に使用されて処理槽から流出する使用済み薬液を回収用タンクに回収する薬液回収手段と、前記回収用タンクに回収された回収薬液を前記処理槽へ供給する回収薬液供給手段と、前記新液供給手段による前記処理槽への新鮮な薬液の供給と前記回収薬液供給手段による処理槽への回収薬液の供給とを択一的に切り換える供給切換手段と、前記薬液排出手段による使用済み薬液の排出と前記薬液回収手段による使用済み薬液の回収とを択一的に切り換える排出・回収切換手段と、前記回収薬液供給手段によって前記処理槽へ回収薬液を供給するとともに前記薬液排出手段によって使用済み薬液を排出し、次いで前記新液供給手段によって処理槽へ新鮮な薬液を供給するとともに前記薬液回収手段によって使用済み薬液を回収するように前記供給切換手段及び排出・回収切換手段を制御する制御手段とを設けたことを特徴とする基板の表面処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, H01L 21/306
