特許
J-GLOBAL ID：200903082753443012
紫外線硬化型粘着シート
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 宏行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-268731
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082639
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】 紫外線硬化型粘着シート1上で半導体ウェーハ2を個々のペレット2aに分割して紫外線照射により紫外線硬化型粘着材層1cを硬化させても、この紫外線硬化型粘着シート1を引き伸ばすことにより各ペレット2a間の間隔を十分に広げることができ、各ペレット2aの引き剥がし作業を確実に行うことができるようにすることを目的としている。【構成】 シート基材1aと紫外線硬化型粘着材層1cとの間に、紫外線の照射によって硬化せずこの紫外線を透過すると共にシート基材1aよりも延伸性の良好な中間接着層1bを形成した。
請求項（抜粋）：
紫外線を透過するシート基材上に紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型粘着材層を形成した紫外線硬化型粘着シートにおいて、シート基材と紫外線硬化型粘着材層との間に、紫外線を透過すると共にシート基材よりも延伸性の良好な中間接着層を介在させたことを特徴とする紫外線硬化型粘着シート。
引用特許：
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