液晶パネル用基板及びその製造方法、並びに液晶パネル及びそれを用いた電子機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-135361
公開番号（公開出願番号）：特開平10-325949
出願日： 1997年05月26日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】半導体を基板とするLCDにおいては、各画素電極と画素電極との隙間から光が漏れることによる光リーク電流がガラス基板のLCDに比べて多くなる。【解決手段】エッチング選択比の異なる絶縁膜(9〜11)を順次成膜し、レジストマスクを利用して等方性エッチングして遮光層用溝(13)を形成した後、反射電極兼遮光層となる導電膜を成膜する。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に少なくとも反射電極がマトリックス状に形成されるとともに、各反射電極に対応して各々トランジスタが形成され、前記トランジスタを介して前記反射電極に電圧が印加されるように構成された液晶パネル用基板において、上記反射電極と同一の導電層により遮光層が構成されることを特徴とする液晶パネル用基板。

IPC (3件)：

G02F 1/1333 500 , G02F 1/1343 , G02F 1/136 500

FI (3件)：

G02F 1/1333 500 , G02F 1/1343 , G02F 1/136 500

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