特許

J-GLOBAL ID：200903082755672604

感放射線レジスト組成物の製造方法

発明者： 金築 重佳 ,  田村 一貴
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-030504
公開番号（公開出願番号）：特開平9-221601
出願日： 1996年02月19日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ可溶性樹脂、感放射線性化合物および溶剤を含む感放射線レジスト組成物の保存中に生じていた、感放射線性化合物に由来する結晶性異物の析出および微細な固形物粒子の発生を極力抑制するためのレジスト組成物の製造方法を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂、感放射線性化合物および溶剤を含む感放射線レジスト組成物の製造方法であって、一段階目に感放射線レジスト組成物中の該アルカリ可溶性樹脂の濃度を所定の濃度より低い組成物を調製すること、および二段階目に、該組成物にさらにアルカリ可溶性樹脂を追加して所定の濃度とすることを特徴とする感放射線レジスト組成物の製造方法。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、感放射線性化合物および溶剤を含む感放射線レジスト組成物の製造方法であって、一段階目に感放射線レジスト組成物中の該アルカリ可溶性樹脂の濃度を所定の濃度より低い組成物を調製すること、および二段階目に、該組成物にさらにアルカリ可溶性樹脂を追加して所定の濃度とすることを特徴とする感放射線レジスト組成物の製造方法。

IPC (4件)：

C08L101/00 LTB ,  C08K 5/28 KBC ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/023 511

FI (4件)：

C08L101/00 LTB ,  C08K 5/28 KBC ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/023 511