特許
J-GLOBAL ID:200903082756144180
レーザ測長装置
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-322214
公開番号(公開出願番号):特開2000-146516
出願日: 1998年11月12日
公開日(公表日): 2000年05月26日
要約:
【要約】【課題】 レーザダイオードのスペクトル線幅の影響を抑えることが可能なレーザ測長装置を実現する。【解決手段】 ヘテロダイン干渉を用いたレーザ測長装置において、レーザ光を出力すると共に基準信号を出力するヘッドと、レーザ光のうち一方の周波数のレーザ光を基準ミラーで、他方の周波数のレーザ光を被測定物に取り付けられたミラーでそれぞれ反射させて干渉光を出力する干渉計と、干渉光を検出して干渉信号を出力するレシーバと、干渉信号と基準信号との位相差を検出して積算することにより被測定物の位置を測定する信号処理回路と、この信号処理回路の出力信号の高周波成分を減衰させるローパスフィルタ回路とを設ける。
請求項(抜粋):
ヘテロダイン干渉を用いたレーザ測長装置において、レーザ光を出力すると共に基準信号を出力するヘッドと、前記レーザ光のうち一方の周波数のレーザ光を基準ミラーで、他方の周波数のレーザ光を被測定物に取り付けられたミラーでそれぞれ反射させて干渉光を出力する干渉計と、前記干渉光を検出して干渉信号を出力するレシーバと、前記干渉信号と前記基準信号との位相差を検出して積算することにより前記被測定物の位置を測定する信号処理回路と、この信号処理回路の出力信号の高周波成分を減衰させるローパスフィルタ回路とを備えたことを特徴とするレーザ測長装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (14件):
2F064AA01
, 2F064CC01
, 2F064EE01
, 2F064FF01
, 2F064GG12
, 2F065AA02
, 2F065DD00
, 2F065DD04
, 2F065FF13
, 2F065FF52
, 2F065FF55
, 2F065GG06
, 2F065LL12
, 2F065QQ00
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