特許
J-GLOBAL ID：200903082756543298
薄膜磁気ヘッド用基板およびこれを用いた薄膜磁気ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143352
公開番号（公開出願番号）：特開平11-339229
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】薄膜磁気ヘッド素子部の放熱性を上げるとともに、素子のメディア面への接触を防止し、さらに膜密着強度、電気的な耐圧、面品位に優れた薄膜磁気ヘッド用基板を提供する。【解決手段】基板6上に厚み0.7〜3.5μmのDLC膜7と、厚み1.3μm以下のアモルファスアルミナ膜8とを順次積層してなる薄膜磁気ヘッド用基板1。
請求項（抜粋）：
基板上に厚み0.7〜3.5μmのダイヤモンド・ライク・カーボン膜と厚み1.3μm以下のアモルファスアルミナ膜とを順次積層してなる薄膜磁気ヘッド用基板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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