特許

J-GLOBAL ID：200903082756792751

電子真空ポンプ

発明者： 無漏田 正雄
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-304988
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126657
出願日： 1999年10月27日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 電子顕微鏡等の真空容器内に残留している炭素化合物ガスを効率よく排気することができる電子真空ポンプを実現する。【解決手段】 電子源3から発生した電子は、収束電極4によって集められ、各ダイノードにより電子は増倍される。増倍された各電子は、筐体1内部に入り込んだ残留ガスと衝突し、残留ガスを分解し、また酸化や一酸化炭素、二酸化炭素の還元による炭素を生成することになる。この生成された炭素は、後段のダイノード表面に付着する。このようにして、残留ガスの内、炭素化合物のガスから炭素を遊離固定させることができる。したがって、真空容器中の炭素化合物ガスの分圧を下げることができる。すなわち、真空容器中の炭素化合物ガスの排気を行うことができる。

請求項（抜粋）：

残留ガス取入口を有したポンプ筐体と、この筐体内に設けられた電子源と、電子源と陽極との間に設けられ電子源からの電子を増倍するための多段のダイノードと、電子源と陽極との間に高電圧を印加するための電源と、電子源と陽極との間の高電圧を分割して各ダイノードに印加するための電圧分割手段と、ダイノード再生用の加熱源とを有し、電子源からの電子を各ダイノードで増倍して陽極に向かわせるようにした電子真空ポンプ。

IPC (4件)：

H01J 41/16 ,  F04B 37/02 ,  H01J 41/20 ,  H01J 37/18

FI (4件)：

H01J 41/16 ,  F04B 37/02 A ,  H01J 41/20 ,  H01J 37/18

Fターム (8件)：

3H076AA24 ,  3H076BB21 ,  3H076CC51 ,  5C033KK03 ,  5C038AA01 ,  5C038AA03 ,  5C038AA07 ,  5C038AA14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-288140
  
• 特開昭49-085610
  
• 特開平2-288140
  
• 特開昭49-085610