特許
J-GLOBAL ID：200903082758031081
近接場走査型顕微鏡の光プローブ保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-232843
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094650
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】近接場走査型顕微鏡の光プローブを確実に保持するとともに、容易に交換することのできるプローブ保持装置を提供する。【構成】プローブ5を挿入する空隙部を備えたプローブ保持部材12と、プローブ保持部材12を締め付ける締め付け部材13とを有する。プローブ保持部材12の空隙部のプローブと接触する部分は、弾性材料で構成されている。
請求項（抜粋）：
試料を搭載する試料台と、光源と、光プローブと、光プローブを前記試料に近接させて保持する保持装置と、前記試料で散乱された光を検出する検出光学系と、前記試料を前記光プローブに対して相対的に走査させる走査手段とを有し、前記光プローブは、前記光源からの光を入射させるための入射口、および、前記光源の光の波長よりも小さい出射口を備え、前記保持装置は、前記光プローブを挿入する空隙部を備えたプローブ保持部材と、前記光プローブ保持部材を締め付ける締め付け部材とを有し、前記光プローブ保持部材のうち、少なくとも前記光プローブと接触する部分は、弾性材料で構成されていることを特徴とする近接場走査型顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
