特許

J-GLOBAL ID：200903082759172053

反射鏡の生産方法

発明者： 下山 典子 ,  西口 憲一 ,  佐々木 亜紀 ,  三神 泉 ,  浅里 幸起
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-084309
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288909
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 反射鏡面の熱変形、あるいは熱変形を空間周波数の級数に展開して補正した後に残る残留熱変形を最小にできる反射鏡の生産方法を得る。【構成】 反射鏡1面の熱変形に影響を及ぼす、部分鏡材2の平均熱膨張係数のばらつきと、厚さ方向の熱膨張係数の勾配のばらつきを熱膨張係数ベクトルの成分とし、変位叉は残留変形ベクトルの成分の2乗和が小さな熱膨張係数ベクトルほど大きな確率で出現するような確率過程を計算機上で乱数を用いて発生させ、その中から変位の2乗和が最小となる熱膨張係数ベクトルを選び、その成分に従って部分鏡材2を配置し貼り合わせる。

請求項（抜粋）：

部分鏡材を貼り合わせて反射鏡を構成する際、その反射鏡の鏡面上の複数のサンプル点における変位の2乗和を、上記部分鏡材全体における熱膨張係数の平均値と上記部分鏡材各々の熱膨張係数との偏差、及び上記部分鏡材各々の厚さ方向の熱膨張係数の勾配を成分とし、その成分の位置が上記部分鏡材各々の配置位置に対応している熱膨張係数ベクトルの関数として定式化し、上記変位の2乗和が小さな熱膨張係数ベクトルほど大きな確率で出現するような確率過程を計算機上で乱数を用いて発生させ、その中から上記変位の2乗和が最小となる熱膨張係数ベクトルを選び、その成分に従って上記部分鏡材を配置し貼り合わせるようにした反射鏡の生産方法。

IPC (3件)：

G02B 5/08 ,  G02B 5/10 ,  G02B 26/08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭53-081285
  
• 特開昭59-187248
  
• 特開平1-119733