特許

J-GLOBAL ID：200903082762316058

静電リレー

発明者： 一矢 光雄 ,  笠野 文宏 ,  西村 広海
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-185282
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045175
出願日： 1993年07月27日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】振動、衝撃によっても破損を起こさない静電リレーを提供するにある。【構成】シリコンウェハからなる可動片2の上に支持バネ用金属薄膜29を付着してある。この支持バネ用金属薄膜29は可動片2の支持端部9を形成するため振動や衝撃による支持端部9の折損を防ぐことができる。

請求項（抜粋）：

固定電極を形成せるシリコンウェハからなる2つの固定片と、可動電力を形成せるシリコンウェハからなり上記両固定片によってサンドイッチ状に挟まれ上記可動電極が移動可能に支持された可動片とで構成され、上記両固定片の各固定電極上にエレクトレットを形成し、可動片と固定片とには可動片の移動により互いに接離する接点を設けたことを特徴とする静電リレーにおいて、上記シリコンウェハからなる可動片の上に金属を付着し、少なくとも可動片の支持端部周辺を金属のみで構成したことを特徴とする静電リレー。

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 静電リレー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-153538   出願人：松下電工株式会社

審査官引用 (1件)

• 静電リレー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-153538   出願人：松下電工株式会社