特許

J-GLOBAL ID：200903082766339044

照明光学系

発明者： 江田 幸夫
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-191562
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028519
出願日： 1998年07月07日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、輪帯照明から円形照明まで連続的に可変でき、しかも小型でコスト上も有利な照明光学系を提供する。【解決手段】レーザ光を輪帯照明光束に変換する照明光学系中に、平行平面状ガラス板31のレーザ光の中央領域に対応する領域に偏光子32を有した可変輪帯マスク30を設け、この可変輪帯マスク30をレーザ光の光軸に対して回転させることにより、偏光子32での透過率を連続的に可変可能にした。

請求項（抜粋）：

レーザ光を輪帯照明光束に変換する照明光学系において、前記レーザ光の中央領域に対応する領域の透過率を連続的に可変可能にした輪帯照明発生手段を具備したことを特徴とする照明光学系。

IPC (5件)：

G01N 21/01 ,  G01N 21/27 ,  G02B 21/06 ,  G02B 27/09 ,  G01N 21/64

FI (5件)：

G01N 21/01 D ,  G01N 21/27 E ,  G02B 21/06 ,  G01N 21/64 E ,  G02B 27/00 E

Fターム (26件)：

2G043AA03 ,  2G043EA13 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043HA07 ,  2G043HA15 ,  2G059AA05 ,  2G059EE01 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ30 ,  2G059LL01 ,  2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC17 ,  2H052AC28 ,  2H052AC34