特許
J-GLOBAL ID：200903082771370421
非金属介在物の検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-179282
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033516
出願日： 1995年07月17日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【目的】非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを自動的に分別し、非金属介在物の定量解析を正確に行うことが可能な非金属介在物の検査装置の提供。【構成】被検査体を撮像する撮像装置2と、撮像装置2の撮像結果に基づいて被検査体中の非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する分別装置3と、分別装置3の分別結果を出力する出力装置4とで構成される非金属介在物の検査装置であって、分別装置3が、撮像装置2により撮像された画像データから対象物の形状度としての形状係数K、周囲点外角標準偏差σを算出する算出手段32c、ならびにこれら算出した形状係数K、周囲点外角標準偏差σを、予め設定しておいた非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する敷居値KC0、σC0と比較することにより非金属介在物であるか非金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判定手段32dを備えることを特徴とする非金属介在物の検査装置1。
請求項（抜粋）：
被検査体を撮像する撮像装置と、その撮像装置の撮像結果に基づいて被検査体中の非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する分別装置と、その分別装置の分別結果を出力する出力装置とで構成される非金属介在物の検査装置であって、上記分別装置が、前記撮像装置により撮像された画像データから対象物の形状度としての形状係数Kおよび周囲点外角標準偏差σを算出する算出手段、ならびにこれら算出した形状係数Kおよび周囲点外角標準偏差σを、予め設定しておいた非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する敷居値KC0、σC0と比較することにより非金属介在物であるか非金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判定手段を備えることを特徴とする非金属介在物の検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 33/20 G
, G01N 21/84 Z
