低露点のクリーンルーム装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原康司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-145539
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337675
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】外気の流入によって露点が上昇することのない低露点のクリーンルーム装置を提供する。【解決手段】 FFU20が配置された給気面12と,クリーンルーム11内の空気を排気させる排気面13と,クリーンルーム11の外において排気面13から給気面12に空気を戻す還気径路(15,16,14)と,還気径路に設けられた冷却コイル35を備えた低露点のクリーンルーム装置1であって,還気径路内において少なくとも冷却コイル35よりも下流側の気圧を,クリーンルーム装置1の外部気圧と等しいかもしくはそれよりも高圧にさせることにより,クリーンルーム装置1の外部からの空気の流入を防ぐ。

請求項（抜粋）：

ファンフィルタユニットが配置された給気面と,クリーンルーム内の空気を排気させる排気面と,クリーンルームの外において排気面から給気面に空気を戻す還気径路と,還気経路に設けられた空気抵抗部材を備えたクリーンルーム装置であって,前記還気径路内において少なくとも前記空気抵抗部材よりも下流側の気圧を,クリーンルーム装置の外部気圧と等しいかもしくはそれよりも高圧にさせる加圧手段を設けたことを特徴とする,低露点のクリーンルーム装置。

Fターム (2件)：

3L058BD06 , 3L058BG01

引用特許：

審査官引用 (10件)

局所密閉型清浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-163247 出願人：高砂熱学工業株式会社
クリーンルーム構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-291705 出願人：新日本空調株式会社
サーマルチャンバー
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-056329 出願人：石川島播磨重工業株式会社, アイ・シー・エイ・テクノロジー株式会社

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