特許

J-GLOBAL ID：200903082776835880

水位センサー

発明者： 泉屋 和博 ,  古郡 昭則 ,  太斉 義明 ,  鬼頭 正弥
出願人/特許権者： 株式会社鷺宮製作所
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-057527
公開番号（公開出願番号）：特開平9-250943
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 耐環境性に優れるとともに、測定精度の向上した水位センサーを提供すること。【解決手段】 半導体圧力センサーの歪ゲージの装着面の反対側の面を圧力伝達室10の圧力を受ける面とする水位センサー1において、圧力伝達室10内に極軟質絶縁材7を充填し、歪ゲージの装着面およびボンディングワイヤーを含むワイヤー基板を極軟質絶縁材17で被覆した。

請求項（抜粋）：

半導体圧力センサーで圧力を検出する水位センサーであって、歪ゲージの装着面の反対側の面を圧力伝達室の圧力を受ける面とする水位センサーにおいて、該圧力伝達室内に極軟質絶縁材を充填し、前記歪ゲージの装着面およびボンディングワイヤーを含むワイヤー基板を極軟質絶縁材で被覆したことを特徴とする水位センサー。

IPC (2件)：

G01F 23/18 ,  G01L 9/04 101

FI (2件)：

G01F 23/18 ,  G01L 9/04 101

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-095231
  
• 特開平4-370726
  
• 圧力センサとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-082812   出願人：北陸電気工業株式会社
• 特開平2-095231
  
• 特開平4-370726