特許
J-GLOBAL ID：200903082786435724
共焦点光学装置及びその検出器アレイの傾き調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331311
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148809
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 複数の光源と検出器アレイとを備え、検出器アレイの傾きを繰り返し精度良く合わせることが可能な共焦点光学装置及びその位置合わせ方法を提供する。【解決手段】 複数の光源4をワーク8に投光し、複数の検出素子12を有する検出器アレイ11によって、反射した光の強度を測定してその表面形状を計測する共焦点光学装置の、前記複数の光源4と共役な共役面16に対する検出器アレイ11の傾き調整方法であって、前記検出器アレイ11を前記複数の光源4に対して共役な位置から反射光の光軸方向に移動し、検出器アレイ11上に複数のエリア17を設け、この各エリア17ごとに検出素子12で反射光の干渉像27のピントを検知し、前記ピントの状態に基づいて前記検出器アレイ11の傾きを制御するようにしている。
請求項（抜粋）：
平面鏡(14)に対して投光される複数の光源(4) と、前記平面鏡(14)で反射した反射光の強度を検出する複数の検出素子(12)を有する検出器アレイ(11)とを備えた共焦点光学装置において、前記検出器アレイ(11)を、前記複数の光源(4) と共役な共役面(16)から反射光の光軸(15)方向に所定距離移動できると共に、前記検出器アレイ(11)の共役面(16)に対する傾きを調整可能な検出器アレイ調整手段(24)と、前記検出器アレイ(11)の検出素子(12)を有する面に設定された複数のエリア(17)と、前記検出器アレイ調整手段(24)により、反射光の光軸(15)方向に移動させたときの、前記各エリア(17)における前記反射光の干渉像(27)のピントが合っているか否かを検知するピント検知手段と、前記干渉像(27)のピントの検知に基づいて前記検出器アレイ調整手段(24)に指令を出力し、前記検出器アレイ(11)の前記共役面(16)からの距離及び共役面(16)に対する傾きを制御する検出器アレイ制御器(22)とを備えたことを特徴とする共焦点光学装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G02B 5/32
, G02B 7/00
G01B 11/24 D
, G02B 5/32
, G02B 7/00 B
