特許
J-GLOBAL ID：200903082787522582
半導体集積回路のパターンデータ処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-094074
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291403
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 アートワーク工程における図形演算の計算機処理の高速化を実現する。【構成】 図形を領域分割し各部分領域ごとに演算処理を行い結果を合成する、分割統治法による図形演算処理において、処理すべき図形演算シークエンスを構成する演算子ごとに、必要時に境界処理を行うことにより、分割境界近傍においても正確な分割処理結果を合成する。これにより、図形演算子間で分割データを直接受け渡すことができる。【効果】 演算シークエンスの処理中途において全データの合成と再分割を行わないため、効率の良い分割図形演算を実現可能である。この高速化効果は特に、各部分領域を複数処理装置に割り当てて並列に実行する場合において顕著である。
請求項（抜粋）：
半導体集積回路のレイアウトパターンに対し、電子計算機を用いて、図形演算子を組み合わせた図形演算シークエンスを施す方法であって、パターンを区分けして複数の部分領域を設定する、境界決定処理を行い、境界決定処理により定められた境界に従って、各部分領域に属する入力パターンを分割して複数の部分データからなるデータグループを生成する、データ分割処理を行い、さらに、処理すべき図形演算シークエンスを構成する図形演算子ごとに、入力となるデータグループを構成する部分データのおのおのについて図形演算を実行して部分結果データを求めることにより図形演算結果データグループを構成し、また境界処理が必要であれば図形演算実行時に境界処理に必要な情報を抽出して出力しておき、これを用いて境界処理を実行して該図形演算結果データグループの内容を補正し、後続の図形演算子に該図形演算結果データグループを受け渡す、分割図形演算処理を行い、出力すべきデータグループのおのおのに関し、該データグループを構成する各部分データを合併して1個の所望の結果を合成する、出力結果合成処理を行なう、ことを特徴とする半導体集積回路のパターンデータ処理方法。
IPC (2件)：
H01L 21/82
, G06F 15/60 370
