特許
J-GLOBAL ID：200903082794658287
プリント配線板の検査方法およびテストパターン
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-146078
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007271
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 プリント配線板の配線パターンの精度を検出するためのプリント配線板の検査方法およびテストパターンにおいて、配線パターンの幅の寸法精度を容易にかつ正確に検出できるようにする。【構成】 パターン11および12は幅が大きく異なるが、その寸法精度がほぼ同じと見なすことができるくらいに近接して設けられている。スルーホール11a,11b間、スルーホール12a,12b間の各抵抗を測ることにより、パターン11および12の各抵抗値R1,R2を検知することができる。また、これら抵抗値R1,R2は、予め分かっている設計寸法と幅の誤差値からそれぞれ理論式を求めることができる。ここで、パターン11および12は近接しているので、幅の誤差値はほぼ同じと見なすことができる。したがって、幅の誤差値を同一の変数にし、その誤差値について連立方程式をとくことにより、パターンの寸法精度が求められる。
請求項（抜粋）：
プリント配線板のエッチング処理後の配線パターンの幅寸法精度を検出するためのプリント配線板の検査方法において、同一のプリント配線板上で互いに近接しかつ幅が充分に異なる第1のテストパターンおよび第2のテストパターンを形成し、前記第1のテストパターンおよび第2のテストパターン上の任意の2点間の抵抗値および距離をそれぞれ検出し、前記計測した2つの抵抗値および距離を比較して寸法精度を検出する、ことを特徴とする多層プリント配線板の検査方法。
IPC (3件)：
H05K 3/46
, H05K 3/00
, H05K 3/06
