特許

J-GLOBAL ID：200903082798367830

ダイヤモンド結晶

発明者： 平林 敬二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-331591
公開番号（公開出願番号）：特開平5-139889
出願日： 1991年11月21日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【構成】 厚さ0.2nm以上10nm以下のFe,Co,NiもしくはCrの単体又は合金の単結晶薄膜を形成した基体上に気相合成法により形成されたダイヤモンド単結晶、及び、核形成密度の小さい非核形成面と単一核のみより結晶成長するに充分小さい面積を有し、前記非核形成面の核形成密度より大きい核形成密度を有する核形成面を形成することにより、該核形成面に選択的に形成されたダイヤモンド結晶において、前記核形成面として、厚さ0.2nm以上10nm以下の配向性を有するFe,Co,NiもしくはCrの単体又はその合金を用いることにより、配向性を有する選択堆積ダイヤモンド結晶。【効果】 平滑性の良好なダイヤモンドのヘテロエピタキシャル膜、及び、、配向性の制御された単一核よりなる選択堆積ダイヤモンドを可能にした。

請求項（抜粋）：

厚さ0.2nm以上10nm以下のFe,Co,NiもしくはCrの単体又は合金の単結晶薄膜を形成した基体上に気相合成法により形成されたことを特徴とするダイヤモンド単結晶。

IPC (4件)：

C30B 29/04 ,  C30B 23/02 ,  C30B 25/02 ,  C30B 25/16

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-205399
  
• 特開平4-128377
  
• 特開平4-130089