特許
J-GLOBAL ID：200903082814270302
圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093430
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264391
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】 圧電体の温度が変化した場合でも、温度依存性のない安定した圧力検出信号を出力できるようにした圧力センサを提供する。【構成】 ケーシング本体12の大径筒部12A内には、圧電体20とアッパープレート22との間に位置してチタン酸ストロンチウムからなる誘電体21を配設する。温度変化によって圧電体20の静電容量が変化すると、誘電体21の静電容量は圧電体20の静電容量と逆の特性をもって変化し、圧電体20の静電容量の変化分を誘電体21によって相殺することができる。
請求項（抜粋）：
ケーシングと、該ケーシングの先端側に設けられ、該ケーシングの先端側に外部から作用する圧力に応じて軸方向に変位するダイヤフラムと、該ダイヤフラムに当接するように前記ケーシング内に設けられた受圧ロッドと、該受圧ロッドを介して伝達される前記ダイヤフラムの変位を前記圧力に応じた電圧信号として出力する圧電体とからなる圧力センサにおいて、前記ケーシング内には、温度に対する静電容量の変化特性が、前記圧電体が有する特性と逆の特性を有する誘電体を設け、該誘電体は前記圧電体に対し圧力の伝達方向に重ね合わせるように配設したことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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