特許

J-GLOBAL ID：200903082816268453

走査型荷電粒子ビーム顕微鏡およびそのアライメント法

発明者： 渡邊 洋一 ,  広瀬 寛
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-185167
公開番号（公開出願番号）：特開平10-031968
出願日： 1996年07月15日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】 観察点を電子ビーム走査範囲の中心に位置させ、観察精度を高めるとともに、操作性を容易にしたSEMとそのアライメント方法を提供する。【解決手段】 基準となる試料6を走査して得たテンプレートを記憶する手段141と、観察対象となる試料16を走査して得た情報信号と前記テンプレートとの相関値を検出し、最も高い相関値の位置を検出してマッチング用パターンとするパターンマッチング手段151と、試料台5を駆動する手段17と、電子ビームを偏向する偏向手段3と、前記パターンマッチングの結果に基づいて位置決めを行うアライメント機能を備え、観察対象試料の被観察点が電子ビームの走査範囲の中心点に位置するようにパターンマッチング用のパターンを前記中心点からずれた位置に位置させてパターンマッチングを行い前記観察点へはイメージシフトによって移動するようにした走査型荷電粒子ビーム顕微鏡。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームで試料を走査し、それによって試料から得られる情報信号に基づいて前記試料の像を表示する走査型荷電粒子ビーム顕微鏡において、基準となる試料を走査して得られる情報信号の一部をテンプレートとして記憶する記憶部と、観察対象となる試料を走査して得られた情報信号と前記記憶されたテンプレートとの相関値を検出し、最も高い相関値の位置を検出してマッチング用パターンとするパターンマッチング処理部と、試料を乗せる試料台を駆動する駆動部と、荷電粒子ビームを走査コイルの磁場で偏向する荷電粒子ビーム偏向部と、前記パターンマッチングの結果に基づいて位置決めを行うアライメント機能を備え、観察対象となる試料の観察位置が荷電粒子ビームの走査範囲の中心または略中心の点に位置するようにパターンマッチング用のパターンを前記点からずれた位置に配置してパターンマッチングを行い前記観察位置へはイメージシフトによって移動するようにしたことを特徴とする走査型荷電粒子ビーム顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/22 502 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/22 502 B ,  H01L 21/30 541 K