特許

J-GLOBAL ID：200903082823075547

照明光学装置

発明者： 広瀬 秀男 ,  中島 康晴
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-243545
公開番号（公開出願番号）：特開2006-064380
出願日： 2004年08月24日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：

【課題】 光照射面における照明の均一性と入射光束の開口数と色温度とを一定に保ちつつ照明光量を調整可能な照明光学装置を提供する。【解決手段】 光源11と、光源と光照射面10aとの間に配置され、光源側から順にコレクタレンズ12とアフォーカル系13とフライアイレンズ14とコンデンサレンズ15とを含み、光照射面をテレセントリック照明する光学系と、アフォーカル系の中に配置された径可変な絞り部材16とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源と、 前記光源と光照射面との間に配置され、前記光源側から順にコレクタレンズとアフォーカル系とフライアイレンズとコンデンサレンズとを含み、前記光照射面をテレセントリック照明する光学系と、 前記アフォーカル系の中に配置された径可変な絞り部材とを備えた ことを特徴とする照明光学装置。

IPC (6件)：

G01M 11/00 ,  G02B 21/12 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/027 ,  G02B 27/00

FI (6件)：

G01M11/00 T ,  G02B21/12 ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/66 X ,  H01L21/30 515D ,  G02B27/00 V

Fターム (21件)：

2G086EE04 ,  2H052AC07 ,  2H052AC18 ,  2H052AC28 ,  2H052AC29 ,  2H052AD34 ,  2H052AD35 ,  2H052BA02 ,  2H097CA06 ,  4M106AA01 ,  4M106AB09 ,  4M106BA04 ,  4M106CA17 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH37 ,  4M106DH38 ,  4M106DJ19 ,  5F046BA03 ,  5F046CB08 ,  5F046CB13

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 固体撮像素子検査用照明装置及びそれに用いる調整工具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-100895   出願人：株式会社ニコン
• 半導体試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-136936   出願人：キヤノン株式会社