特許

J-GLOBAL ID：200903082825344944

電流導入端子の耐圧評価方法およびその耐圧評価装置

発明者： 石塚 正之 ,  柳谷 知之 ,  安原 征治
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 池澤 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170581
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357607
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 液体ヘリウムを使用することなく、冷凍機(GM冷凍機41)のみを使用して電流導入端子(低温側電流導入端子8)を実働状態と同じ極低温レベルに冷却し、取扱いが簡単で、テスト容器43内に供給するヘリウムガスの圧力制御が容易で、評価効率を向上させることができる電流導入端子の耐圧評価方法およびその耐圧評価装置を提供すること。【解決手段】 電流導入端子8を冷却する手段として、4Kまで冷却可能なGM冷凍機41を用いることに着目し、クライオスタット16内を真空とする真空引き工程と、クライオスタット16に取り付けた冷凍機41により電流導入端子8を冷却する冷却工程と、テスト容器43に所定圧力のガスを供給してテスト容器43の内部側から電流導入端子8を介してクライオスタット16内に漏れ出るガスのリーク量を測定するリーク量測定工程と、を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

クライオスタット内に配置したテスト容器に取り付けた電流導入端子の耐圧性を評価する電流導入端子の耐圧評価方法であって、前記クライオスタット内を真空とする真空引き工程と、前記クライオスタットに取り付けた、温度4Kレベルまで冷却可能な冷凍機により前記電流導入端子を所定温度レベルに冷却する冷却工程と、前記テスト容器に所定圧力のガスを供給して前記テスト容器の内部側から前記電流導入端子を介して前記クライオスタット内に漏れ出る前記ガスのリーク量を測定するリーク量測定工程と、を有することを特徴とする電流導入端子の耐圧評価方法。

IPC (2件)：

H01F 6/00 ZAA ,  H01L 39/04 ZAA

FI (2件)：

H01F 7/22 ZAA J ,  H01L 39/04 ZAA

Fターム (6件)：

4M114AA31 ,  4M114CC03 ,  4M114CC11 ,  4M114DA02 ,  4M114DA12 ,  4M114DA45