複光路2重エタロン分光器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-103889
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349781
出願日： 2001年02月26日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】本発明は、分光器に関し、より詳細には、エタロンベースの分光器に関する。【解決手段】第1の複光路エタロンベース分光器が開示される。好ましい実施形態において、第1の複光路エタロンに適合する第2のエタロンが使用され、極めて正確なフリンジデータを生成する。拡散ビームのスペクトル成分は、エタロンを通って透過される時に角度的に分離される。再帰反射器は、透過された成分を該エタロンを通して反射して戻す。2度透過されたスペクトル成分は、第2のエタロンを通って進み、第2の好ましい実施形態ではフォトダイオード・アレーである光検出器上に集束する。該分光器は、非常にコンパクトであり、きわめて正確なフリンジデータを生成し、ΔλFWHM及びΔλ95%の両方に関してマイクロリソグラフィーに必要な精度を伴う帯域幅測定を可能にする。

請求項（抜粋）：

ビームのスペクトル測定をする複光路2重エタロンベースの分光器であって、A)拡散ビームを生成するために、前記ビームの光を非常に多くの方向に向ける拡散光学装置と、B)前記拡散ビーム内に置かれ、前記ビームの各部分を透過して角度的に分離されたスペクトル成分を持つ1度透過されたビームを生成するように形成された第1のエタロンと、C)前記1度透過されたビームの少なくとも一部分を前記エタロンを通して反射して戻し、角度的に分離されたスペクトル成分を持つ2度透過されたビームを生成するように置かれた再帰反射光学装置と、D)第2のエタロンと、E)集束光学装置と、F)光検出器と、G)前記2度反射されたビームの少なくとも一部分を、前記第2のエタロン及び前記集束光学装置を通って、前記ビームのスペクトル成分が検出される前記光検出器上に反射するように置かれた反射光学装置と、を含むことを特徴とする分光器。

IPC (2件)：

G01J 3/26 , G01J 3/36

FI (2件)：

G01J 3/26 , G01J 3/36

Fターム (18件)：

2G020BA02 , 2G020BA20 , 2G020CA12 , 2G020CB06 , 2G020CB23 , 2G020CB43 , 2G020CC02 , 2G020CC23 , 2G020CC31 , 2G020CC42 , 2G020CC47 , 2G020CC63 , 2G020CD03 , 2G020CD16 , 2G020CD24 , 2G020CD32 , 2G020CD56 , 2G020CD60

引用特許：

審査官引用 (22件)

波長測定装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-127929 出願人：株式会社ニコン
狭帯域レーザ用波長モニタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-227194 出願人：三菱電機株式会社
光帯域通過フィルタ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-226025 出願人：国際電信電話株式会社

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