光波干渉測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三品岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-058818
公開番号（公開出願番号）：特開平9-250902
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】光束の光路変動を抑制して測定誤差を低減することができる光波干渉測定装置を提供する。【解決手段】光路変動検出部100a〜100cを、光源301〜PBS150間、PBS150〜移動鏡120間、PBS151〜固定鏡121間に各々配置する。光路変動検出部100aは、光源301からの光束を分離するBSとBSで分離された光束を更に分離するPBSと分離された光を各々受光する2つのレシーバとを有する。光路変動検出部100b、100cは、光源301からの光束を分離するBSとBSで分離された光束を受光するレシーバとを各々有する。上記4つのレシーバでの受光位置を基に各光の光路変動を光路変動算出装置410で求め、求めた変動量を参照して、光束の光路変動を補正鏡で補正する。

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源から出射された光束を光を反射する対象物に導くと共に、前記対象物で反射された光束に基準となる光束を重ね合わせて干渉光を発生させる光学系と、前記光学系で発生した干渉光を検出する干渉光検出手段と、前記干渉光検出手段の結果に基づいて前記対象物の測定値を算出する測定値算出手段と、を具備する光波干渉測定装置であって、前記光源から出射された光束の光路変動を検出する光路変動検出手段と、前記光路変動検出手段で検出された光路変動量を参照して、前記光源から出射された光束の光路変動を補正する光路変動補正手段と、を有することを特徴とする光波干渉測定装置。

IPC (3件)：

G01B 9/02 , G01B 11/00 , G01B 11/02

FI (3件)：

G01B 9/02 , G01B 11/00 F , G01B 11/02 G

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