特許

J-GLOBAL ID：200903082830208587

基板保持装置及びこれを具備した基板搬送装置

発明者： 大沢 忠康
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043186
公開番号（公開出願番号）：特開平6-234401
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 基板の損傷及び染み発生の防止並びに基板の受け渡しの円滑化に寄与する基板保持装置と、該基板保持装置を具備した基板搬送装置とを提供する。【構成】 保持した基板22の重量に基づく挾持部材各々72〜73の相互離間方向への移動を規制手段78によって規制することとしている。よって、基板22が傾斜することがなく、基板同士の接触による損傷や、基板間に処理液が残留することによる染みの発生が防止されると共に、処理槽内に配置された受台85等への基板の受け渡しが円滑に行われる。

請求項（抜粋）：

基体部と、前記基体部に相対的に可動に取り付けられ基板を該基板の主面に平行な方向において挾持するための複数の挾持部材と、前記挾持部材を駆動する駆動手段とを備え、複数枚の基板をその主面同士が平行となるように且つ各々が直立した状態にて整列して保持する基板保持装置であって、前記基板の重量に基づく前記挾持部材各々の相互離間方向への移動を規制する規制手段を有することを特徴とする基板保持装置。

IPC (4件)：

B65G 1/04 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-028338
  
• 特開昭62-044388
  
• 特開昭54-105636