特許

J-GLOBAL ID：200903082832924883

半導体材料からなる溶融物を収容する装置

発明者： エーリヒ トムツィヒ
出願人/特許権者： ワッカー ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-365265
公開番号（公開出願番号）：特開2003-192486
出願日： 2002年12月17日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】 CFCからなるサセプタの化学反応による腐食を抑制し、サセプタ寿命を高めること【解決手段】 石英ガラスからなる坩堝とサセプタを有し、このサセプタは少なくとも部分的にCFCからなり、坩堝を支持しかつ底部、円筒部及び、底部と円筒部との間の湾曲部を備えた内面を有する、半導体材料からなる溶融物を収容する装置において、坩堝とサセプタとの間に配置されておりかつ気密バリアを形成する、黒鉛からなる薄く、平面状のかつフレキシブルに変形可能なシートを有することを特徴とする、半導体材料からなる溶融物を収容する装置。

請求項（抜粋）：

半導体材料からなる溶融物を収容する装置であって、前記の装置は石英ガラスからなる坩堝とサセプタを有し、このサセプタは少なくとも部分的にCFCからなり、坩堝を支持しかつ底部、円筒部及び、底部と円筒部との間の湾曲部を備えた内面を有する形式のものにおいて、坩堝とサセプタとの間に配置されておりかつ気密バリアを形成する、黒鉛からなる薄く、平面状のかつフレキシブルに変形可能なシートを有することを特徴とする、半導体材料からなる溶融物を収容する装置。

IPC (2件)：

C30B 15/00 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/00 Z ,  C30B 29/06 502 B

Fターム (10件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077BE43 ,  4G077BE46 ,  4G077CF10 ,  4G077EG25 ,  4G077EG30 ,  4G077HA12 ,  4G077PD12 ,  4G077PD16

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許第5858486号明細書
  
• 国際公開第01/38625号パンフレット
  
• 国際公開第98/48085号パンフレット