特許
J-GLOBAL ID:200903082836873540

透明マイクロ波用誘電体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 押田 良久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-203471
公開番号(公開出願番号):特開平5-028832
出願日: 1991年07月18日
公開日(公表日): 1993年02月05日
要約:
【要約】【目的】 εrが5以上でマイクロ波帯域で低損失かつ温度変化に対する特性の変化が小さな高透明度のマイクロ波用誘電体を安定して製造することができる製造方法の提供。【構成】 (Bax・Sry)(Ga1/2・Ta1/2)O3 (但しx=0.2〜0.3、y=0.7〜0.8)の組成領域の原料粉末からなる成形体を、一次焼結して焼結体の理論密度を93%以上となした後、酸素ガスまたはArガスの単独あるいは混合雰囲気中で、温度1350〜1600°C、加圧力500kg/cm2〜2000kg/cm2、0.5〜20時間の熱間静水圧プレス処理(以下HIPという)して、焼結体の理論密度を99%以上となす。
請求項(抜粋):
(Bax・Sry)(Ga1/2・Ta1/2)O3 (但しx=0.2〜0.3、y=0.7〜0.8)の組成領域の原料粉末からなる成形体を、酸素ガスまたはArガスの単独あるいは混合雰囲気中で熱間静水圧プレス処理、または酸素ガス雰囲気中でホットプレス処理、あるいは酸素ガス雰囲気中で焼結することを特徴とする透明マイクロ波用誘電体の製造方法。
IPC (3件):
H01B 3/00 ,  C04B 35/00 ,  H01B 3/12 307

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