特許

J-GLOBAL ID：200903082838557610

ねじ溝真空ポンプ

発明者： 廣木 成治 ,  阿部 哲也 ,  村上 義夫 ,  中村 順一 ,  井口 昌司
出願人/特許権者： 日本原子力研究所 ,  株式会社大阪真空機器製作所
代理人 (1件)： 小山 輝晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-099666
公開番号（公開出願番号）：特開平8-270599
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月15日
要約：

【要約】【目的】 異なるガス負荷に起因してロータの温度上昇による熱膨張量が変化しても、ロータ・ステータ間の間隙が常に一定となるような大型ねじ溝真空ポンプを提供する。【構成】 ねじ溝真空ポンプのロータ2の外周を円錐2aにすると共に、該円錐2aの母線の延長上の交点の位置が、軸4の中心線Y上にある基準点位置Oから-β・Ysとなるように該ロータ2の円錐2aを形成した。

請求項（抜粋）：

ロータの外周面又はステータの内周面のいずれか一方にねじ溝を有し、僅小の間隙をもってロータがステータ内で回転する式のねじ溝真空ポンプにおいて、ロータ外周の一部又は全部を1つ又は2つの円錐状にすると共に、該円錐状の外周の母線の延長上の交点の位置が、該ロータの軸の中心線上の下方軸受部の下端の基準点位置から-β・Ysとなるように該円錐を形成したことを特徴とするねじ溝真空ポンプ。但し、【数1】αs は中心軸材の熱膨張率、αr はロータ材の熱膨張率。【数2】△Tsはねじ溝真空ポンプ運転時における軸の常温よりの温度上昇、△Trはねじ溝真空ポンプ運転時におけるロータの常温よりの温度上昇、Ysは軸の中心に沿ってY座標をとり、基準点位置をY=0とした時の、軸とロータとの結合点のY座標位置。