特許

J-GLOBAL ID：200903082854826516

走査形プローブ顕微鏡

発明者： 田 中 勝 広
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-356021
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162334
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 カンチレバの振動振幅を常に一定に保持することができる走査形プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 位相調整回路11の出力信号Asinωtはアンプ13に入力される。信号変換回路14は、アンプ13からの信号を特定振幅の信号Bsinωtに変換する。RMS-DC回路16は、アンプ13からの信号の振幅を検出し、検出した振幅をDC電圧Armsとして出力する。RMS-DC回路16の出力Armsは反転アンプ17で反転され、エラーアンプ18は、信号Verr=G(Vref-Arms)を出力する。乗算器15は、信号変換回路14の出力とエラーアンプ18の出力を乗算して、信号Vout=BG(Vref-Arms)sinωtを出力する。乗算器15の出力信号Voutはアッテネータ20を介してピエゾ素子7に供給され、カンチレバ5の加振信号として用いられる。

請求項（抜粋）：

一端が支持されたカンチレバと、そのカンチレバの他端に固定された探針と、前記カンチレバの変位を検出する変位検出手段と、その変位検出手段の出力を特定の振幅を有する波形信号に変換する信号変換手段と、前記変位検出手段の出力に基づき前記カンチレバの振幅を検出する振幅検出手段と、前記カンチレバの振幅を設定するための振幅設定手段と、その振幅設定手段の出力信号と前記振幅検出手段の出力信号の差を検出する振幅差検出手段と、その振幅差検出手段の出力信号と前記信号変換手段の出力信号を乗算する乗算手段と、その乗算手段の出力に基づき前記カンチレバを振動させる手段を備えたことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/30 101 ,  G12B 21/08

FI (4件)：

G01N 13/16 A ,  G01B 21/00 P ,  G01B 21/30 101 Z ,  G12B 1/00 601 D

Fターム (22件)：

2F069AA54 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD08 ,  2F069DD25 ,  2F069GG01 ,  2F069GG07 ,  2F069GG35 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ04 ,  2F069JJ19 ,  2F069JJ26 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM24 ,  2F069MM32 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05