特許
J-GLOBAL ID:200903082865644061

固体撮像装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 弘 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-263574
公開番号(公開出願番号):特開平6-118209
出願日: 1992年10月01日
公開日(公表日): 1994年04月28日
要約:
【要約】【目的】 固体撮像素子の受光部の上に中間層を介してマイクロレンズを配設した固体撮像装置において、受光領域内の感度を均一にする。【構成】 マイクロレンズ形成面となる中間層8の上面を、固体撮像素子の中央部から周辺部に向かうにしたがって連続的又はステップ状に低くなるよう凸状に形成する。受光領域の周辺部になるほど受光部2からマイクロレンズ7までの距離をマイクロレンズ7の焦点距離よりも短くすることにより、受光領域の周辺になるほど増加する斜め方向の入射光成分を、一点に集光する前に効率よく受光部2に取り込むことができる。そのため、固体撮像装置の受光領域内の感度がほぼ均一となり、輝度シェーディングを抑制することができる。
請求項(抜粋):
固体撮像素子の受光部の上に中間層を介してマイクロレンズを配設してなる固体撮像装置において、上記マイクロレンズの形成面となる中間層の上面は、固体撮像素子の中央部から周辺部へむかうに従って連続的に低くなるよう凸状に形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件):
G02B 5/00 ,  H01L 27/14

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